真空用各種駆動器 仕様 PDF
1）各種回転導入器
2）各種直線導入器
3）トランスファーロッド
4）ベローズ管
5）簡易Z軸駆動器(手動)
5）高精度Z軸駆動器(自動)
6）XY軸ステージ
7-1）XYZマニピュレーター
7-2) XYZマニピュレーター
8）クイックアクセスドア
9）ビューポートシャッター
各種加熱ヒーター 仕様 PDF
1）リボンヒーター
2）シースヒーター
3）ジャケットヒーター
4）簡易蒸着源
5）セラミックヒーター
6）石英ランプヒーター
7）Siヒーター
8）ブロックヒーター
9）SiCヒーター
10）PBNヒータ
各種ユニット及機器 仕様 PDF
1)スパッタ源
2)RF電源(スパッタ用)
3)DC電源(スパッタ用)
4)電子銃ユニット
5)磁気シール
6)放射温度計
7)コントローラー
8)イオンソース
真空部品の加工（実例）
1）チャンバー内部品 (基板ホルダー、パッキングプレート、部品、防着板、磁気シールド等)
2）真空容器 (変換、短管、Ｌ型、Ｔ管、六方管、キューブ、各形状のチャンバー等）
小部品及材料 仕様 PDF
1）各種真空フランジ及びガスケット(ICF、NW、ISO、JIS、Oリング、クランプ等)
2）真空用各種ねじ(SUS、Au(Ag)鍍金、インコネル、Mo、Ti、セラミック、樹脂等)
3）特殊金属材料部品加工(材質：Pt、インコネル、MA、Mo、 Ti、W、Ta等)
4）非金属部品加工(材料:石英ガラス、PBN、テフロン、セラミックス、PEEK、BN、カーボン等)
5）各種導入端子(電流、熱電対、光ファイバー、ガス、水冷、LN2、RF等)
6）真空用電線、熱電対、端子台、ソケット、碍子等
7）各種ビューポート(ICF仕様、Oリング仕様、鉛ガラス付、ARコーティング付等)
8）カプトンテープ(真空用)
