真空用各种驱动机构 指标与特点 PDF
1）各种旋转轴
2）各种直线移动轴
3）磁力传送杆
4）波纹管
5）简易Z轴位移台(手动)
5）高精度Z轴位移台(自动)
6）XY二轴位移台
7-1）XYZ三轴位移台
7-2）XYZ三轴位移台
8）快开门(带观察窗)
9）观察窗保护挡板
各种加热器 指标与特点 PDF
1）加热带
2）金属套管加热器
3）柔性外套式加热器
4）简易蒸发源
5）陶瓷片加热器
6）石英加热灯
7）Si片加热器
8）金属热板加热器
9）SiC加热器
10）PBN加热器
各种组件和仪器 指标与特点 PDF
1）磁控靶
2）RF射频电源(磁控用)
3）DC直流电源(磁控用)
4）电子枪及控制电源
5）磁流体
6）红外测温仪
7）加热器控制器
8）考夫曼离子源
9）各种蝶阀
10）红外高温加热器
真空部件加工(实例)
1）腔体内部件 (衬底托、靶托、夹具、防护板、磁屏蔽罩等)
2）真空腔体接管 (变换、短管、Ｌ型、Ｔ型、六通、六面体、小型容器、各种形状腔体等)
小型配件及材料 指标与特点 PDF
1）各种法兰和密封件 (ICF、NW、ISO、JIS、O型橡胶圈、KF卡扣等)
2）真空用各种螺丝(SUS、镀金、镀银、inconel、Mo、Ti 、陶瓷、树脂等 )
3）特殊金属材料部件加工(材质: Pt、Inconel、MA、 Mo、Ti、W、Ta等)
4）非金属部件加工(材质:石英、PBN、特氟龙 (Teflon) 、陶瓷、树脂(PEEK) 、BN、碳等)
5）各种用途的导入端子 (电流、热电偶、光纤、气体、冷却水、LN2、RF等)
6）真空专用电线、K型热电偶、绝缘端子台、接头、绝缘材料等
7）各种窗口(ICF、O型橡胶圈、含铅玻璃、石英、蓝宝石、镀抗反射增透膜等)
8）Polyimide胶带(用于真空)
